MEMS開關的自吸合功率測試系統及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711022974.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107782476B 公開（公告）日 2019-11-22
申請公布號 CN107782476B 申請公布日 2019-11-22
分類號 G01L3/24（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙嘉昊; 谷明玥 申請（專利權）人 江蘇智能微系統工業(yè)技術股份有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 清華大學
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS開關的自吸合功率測試系統及方法，MEMS開關包括共面波導和可動極板，包括：功率施加模塊，功率施加模塊用于向共面波導上輸入可調射頻信號以驅動所述可動極板運動；檢測模塊，檢測模塊用于檢測可動極板是否運動以判斷MEMS開關是否產生自吸合現象，檢測可動極板的運動位移變化以測試MEMS開關的自吸合功率。本發(fā)明通過向MEMS開關輸入射頻信號驅動MEMS開關的可動極板運動，檢測模塊檢測可動極板是否運動，并在其運動后檢測運動的位移變化來檢測MEMS開關的自吸合功率，這樣通過測試自吸合功率的方法使得測試系統更加標準化和實用化。