MEMS開關(guān)的自吸合功率測(cè)試系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711022974.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107782476B | 公開（公告）日 | 2019-11-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107782476B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-22 |
| 分類號(hào) | G01L3/24（2006.01） | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 趙嘉昊; 谷明玥 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 清華大學(xué) |
| 地址 | 100084 北京市海淀區(qū)清華園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種MEMS開關(guān)的自吸合功率測(cè)試系統(tǒng)及方法，MEMS開關(guān)包括共面波導(dǎo)和可動(dòng)極板，包括：功率施加模塊，功率施加模塊用于向共面波導(dǎo)上輸入可調(diào)射頻信號(hào)以驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)極板運(yùn)動(dòng)；檢測(cè)模塊，檢測(cè)模塊用于檢測(cè)可動(dòng)極板是否運(yùn)動(dòng)以判斷MEMS開關(guān)是否產(chǎn)生自吸合現(xiàn)象，檢測(cè)可動(dòng)極板的運(yùn)動(dòng)位移變化以測(cè)試MEMS開關(guān)的自吸合功率。本發(fā)明通過向MEMS開關(guān)輸入射頻信號(hào)驅(qū)動(dòng)MEMS開關(guān)的可動(dòng)極板運(yùn)動(dòng)，檢測(cè)模塊檢測(cè)可動(dòng)極板是否運(yùn)動(dòng)，并在其運(yùn)動(dòng)后檢測(cè)運(yùn)動(dòng)的位移變化來檢測(cè)MEMS開關(guān)的自吸合功率，這樣通過測(cè)試自吸合功率的方法使得測(cè)試系統(tǒng)更加標(biāo)準(zhǔn)化和實(shí)用化。 |
