耐高溫?zé)o線MEMS溫度傳感系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410426020.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104198060B 公開（公告）日 2017-01-18
申請公布號 CN104198060B 申請公布日 2017-01-18
分類號 G01K1/02(2006.01)I;G01K7/32(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 尤政;王偉忠;阮勇;陳碩 申請（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張大威
地址 100084 北京市海淀區(qū)100084-82信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種耐高溫?zé)o線MEMS溫度傳感系統(tǒng)，包括：無線問詢單元，用于發(fā)送/接收電磁波信號，測量、存儲和處理溫度數(shù)據(jù)，并將溫度數(shù)據(jù)作為最終傳感信號；聲表面波諧振裝置，用于接收來自所述無線問詢單元的電磁波信號，并將電磁波信號轉(zhuǎn)換為聲表面波后，再次將聲表面波轉(zhuǎn)換為新的電磁波信號，以及將新的電磁波信號反饋給無線問詢單元；顯示裝置，用于接收并顯示來自無線問詢單元的溫度測量結(jié)果。本系統(tǒng)具有無源、無線、耐高溫、體積小、能夠?qū)崟r測量的優(yōu)點。