MEMS開關(guān)的自吸合功率測試系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711022974.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107782476A 公開（公告）日 2018-03-09
申請公布號 CN107782476A 申請公布日 2018-03-09
分類號 G01L3/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙嘉昊;谷明玥 申請（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 清華大學(xué)
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS開關(guān)的自吸合功率測試系統(tǒng)及方法，MEMS開關(guān)包括共面波導(dǎo)和可動(dòng)極板，包括：功率施加模塊，功率施加模塊用于向共面波導(dǎo)上輸入可調(diào)射頻信號以驅(qū)動(dòng)所述可動(dòng)極板運(yùn)動(dòng)；檢測模塊，檢測模塊用于檢測可動(dòng)極板是否運(yùn)動(dòng)以判斷MEMS開關(guān)是否產(chǎn)生自吸合現(xiàn)象，檢測可動(dòng)極板的運(yùn)動(dòng)位移變化以測試MEMS開關(guān)的自吸合功率。本發(fā)明通過向MEMS開關(guān)輸入射頻信號驅(qū)動(dòng)MEMS開關(guān)的可動(dòng)極板運(yùn)動(dòng)，檢測模塊檢測可動(dòng)極板是否運(yùn)動(dòng)，并在其運(yùn)動(dòng)后檢測運(yùn)動(dòng)的位移變化來檢測MEMS開關(guān)的自吸合功率，這樣通過測試自吸合功率的方法使得測試系統(tǒng)更加標(biāo)準(zhǔn)化和實(shí)用化。