一種柔性壓電薄膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811281409.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109378382A 公開（公告）日 2019-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN109378382A 申請(qǐng)公布日 2019-02-22
分類號(hào) H01L41/45 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 牛杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嘉興市海德姆智能電氣有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314019 浙江省嘉興市秀洲區(qū)油車港鎮(zhèn)正陽西路111號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種柔性壓電薄膜的制備方法，包括以下步驟：取鈦酸四丁酯，依次滴加異丙醇和乙酰丙酮，攪拌均勻；加入冰醋酸，攪拌均勻；加硝酸鉍，攪拌至完全溶解，加去離子水，攪拌；加乙酸鈉，在磁力攪拌器上攪拌至完全溶解，加入甲酰胺攪拌；在密閉的環(huán)境中靜置，得溶膠A；將基板熱處理，冷卻，放在勻膠機(jī)的真空吸盤上空轉(zhuǎn)，空轉(zhuǎn)期間分別用酒精和去離子水沖洗表面；基板放在勻膠機(jī)上，滴加溶膠A，啟動(dòng)勻膠機(jī)勻膠；干燥；升溫?zé)崽幚恚焕鋮s后再繼續(xù)甩膠疊層，加熱至700℃退火處理5?10min即得。本法所制備的柔性壓電薄膜的介電常數(shù)高，剩余極化強(qiáng)度高，同時(shí)其壓電系數(shù)也高，壓電性能好，將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的能力好。