一種環(huán)保型紫外正性光刻膠的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811262786.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109445250A 公開（公告）日 2019-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN109445250A 申請(qǐng)公布日 2019-03-08
分類號(hào) G03F7/039;G03F7/004 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 牛杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嘉興市海德姆智能電氣有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314019 浙江省嘉興市秀洲區(qū)油車港鎮(zhèn)正陽(yáng)西路111號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種環(huán)保型紫外正性光刻膠的制備方法，包括以下步驟：將酚醛環(huán)氧樹脂和對(duì)苯二酚在室溫下攪拌混合均勻，通氮?dú)?；升溫，逐滴加丙烯酸和N,N?二甲基苯胺的混合溶液反應(yīng)；加溫水?dāng)嚢柘礈?，靜置分層，棄去水層；加三乙胺鹽酸鹽和水，攪拌升溫反應(yīng)；在真空下脫去大量水分至粘稠狀，再加入甲苯共沸脫去剩余的水分，加丙酮攪拌回流后棄去上層清液；移至紅外燈下干燥，真空干燥，取出后研得粉末A；取粉末A、費(fèi)氏弧菌凍干粉、補(bǔ)骨脂素、乙二醇甲醚乙酸酯和乳酸乙酯混合，磁力攪拌；用超濾膜過濾即得。本法所制備的環(huán)保型紫外正性光刻膠的留膜率高，使光刻圖形不易在顯影液中溶解失真，同時(shí)圖形對(duì)比度高，分辨率佳，具有很好的光刻效果。