一種連續(xù)式擴(kuò)散爐及其通氣方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310163068.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103225111A 公開(kāi)（公告）日 2013-07-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN103225111A 申請(qǐng)公布日 2013-07-31
分類(lèi)號(hào) C30B31/10(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陸利新;鄭榮豪;陳榮蓮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海煦康電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海煦康電子科技有限公司
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路140號(hào)28幢511幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種連續(xù)式擴(kuò)散爐，包括：兩端開(kāi)口的爐體；一端開(kāi)口、另一端封閉的第一進(jìn)氣管，第一進(jìn)氣管固定設(shè)置在爐體的腔內(nèi)壁，第一進(jìn)氣管的管壁上均勻開(kāi)設(shè)有若干小孔，小孔遠(yuǎn)離爐體的腔內(nèi)壁；一端開(kāi)口、另一端封閉的第二進(jìn)氣管，第二進(jìn)氣管固定設(shè)置在爐體的腔內(nèi)壁，第二進(jìn)氣管的管壁上均勻開(kāi)設(shè)有若干小孔，小孔遠(yuǎn)離爐體的腔內(nèi)壁；排氣管，固定設(shè)置在爐體腔內(nèi)壁，排氣管兩端均開(kāi)口，并向排氣管兩端提供有負(fù)壓，排氣管的管壁上開(kāi)設(shè)有若干小孔，小孔遠(yuǎn)離爐體的腔內(nèi)壁。本發(fā)明提供的連續(xù)式擴(kuò)散爐的通氣方法，實(shí)現(xiàn)了同一批次的硅片周?chē)磻?yīng)氣體密度一致，硅片結(jié)成的PN結(jié)較為均勻，同時(shí)使用兩個(gè)通氣管通氣，避免了通氣管孔堵塞。