一種氣體預(yù)熱裝置、擴(kuò)散爐及進(jìn)氣預(yù)熱的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310163639.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103243393A 公開（公告）日 2013-08-14
申請公布號 CN103243393A 申請公布日 2013-08-14
分類號 C30B31/06(2006.01)I;C30B33/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陸利新;陳榮蓮;杜鵬程 申請（專利權(quán)）人 上海煦康電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭瑋
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路140號28幢511幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種氣體預(yù)熱裝置，包括：包含有進(jìn)氣口以及出氣口的氣包，氣包的主體表面繞有電熱絲，并且電熱絲按照從進(jìn)氣口到出氣口由疏到密分布；溫度傳感器，固定在氣包上；溫控儀，與溫度傳感器信號連接；控制元件，其一端與溫控儀信號連接，其另一端與電熱絲連接；本發(fā)明還提供一種氣體預(yù)熱裝置的擴(kuò)散爐，擴(kuò)散爐的進(jìn)口與出氣口連接；本發(fā)明還提供擴(kuò)散爐的進(jìn)氣預(yù)熱方法。本發(fā)明提供的氣體預(yù)熱裝置，氣包的主體表面繞有電熱絲，并且電熱絲按照從進(jìn)氣口到出氣口由疏到密分布，能夠使氣體通過進(jìn)氣口后開始緩慢均勻地加熱，最終達(dá)到所需溫度。