半導(dǎo)體元件的燒結(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120374903.8 申請日 -
公開（公告）號 CN202304373U 公開（公告）日 2012-07-04
申請公布號 CN202304373U 申請公布日 2012-07-04
分類號 F27B9/06(2006.01)I;F27B9/24(2006.01)I;F27B9/12(2006.01)I;F27B9/30(2006.01)I;F27B9/36(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 李桂琴;孫逸;仝韶華;陸利新 申請（專利權(quán)）人 上海煦康電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海煦康電子科技有限公司
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路140號28幢511室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種半導(dǎo)體元件的燒結(jié)裝置，包括：燒結(jié)爐爐體、貫穿燒結(jié)爐爐體的傳輸絲網(wǎng)、傳輸絲網(wǎng)至少一側(cè)設(shè)置多個支架、設(shè)置在支架內(nèi)的紅外輻射管，多個支架串接設(shè)置。本實用新型提供的半導(dǎo)體元件的燒結(jié)裝置，通過設(shè)置的紅外輻射管對半導(dǎo)體元件和隨行夾具進(jìn)行直接加熱，在燒結(jié)過程中優(yōu)化分配和布置不同功率及不同波長的紅外輻射管，以提高半導(dǎo)體元件的成品率和產(chǎn)出率，并且優(yōu)化了能耗。半導(dǎo)體元件烘干充分，產(chǎn)品可靠性好。