一種碳/碳復合材料的快速低成本CVD致密方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810066833.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108220913A 公開（公告）日 2018-06-29
申請公布號 CN108220913A 申請公布日 2018-06-29
分類號 C23C16/26;C23C16/46;C23C16/455 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 羅昆鵬;姜召陽;陳小飛;曹磊;張貴歧;高曉佳;王春梅;于洪剛;崔樹永 申請（專利權(quán)）人 航天睿特碳材料有限公司
代理機構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 談杰
地址 253700 山東省德州市慶云紅云高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東環(huán)路中段路東2588號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種碳/碳復合材料的快速低成本CVD致密方法，將預制體與內(nèi)芯模裝配在一起，進行高溫預處理，處理后將預制體與內(nèi)芯模置于CVD設(shè)備沉積室的上下石墨電極之間，加熱并通入碳源氣體，經(jīng)過40～200h，即可一次性制備碳/碳復合材料產(chǎn)品。本發(fā)明方法有如下優(yōu)勢特點：1.集溫差法、限氣法以及自發(fā)熱特點的沉積工藝優(yōu)勢一體，不僅有效預防表層熱解碳結(jié)殼對沉積致密的影響，增強碳源氣體向預制體內(nèi)擴散的能力，可大幅度提升沉積效率；2.避免增密不均勻問題的出現(xiàn)，產(chǎn)品質(zhì)量一致；3.生產(chǎn)能耗低，有較低的工藝生產(chǎn)成本；4.氣流的控制程度高，氣體利用率高；5.預制體與石墨內(nèi)芯模的脫模容易，操作性好；6.可精確控制產(chǎn)品密度狀態(tài)，獲得準確的產(chǎn)品效果。