一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810066833.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108220913B 公開（公告）日 2020-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN108220913B 申請(qǐng)公布日 2020-01-14
分類號(hào) C23C16/26（2006.01）; C23C16/46（2006.01）; C23C16/455（2006.01） 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 羅昆鵬; 姜召陽; 陳小飛; 曹磊; 張貴歧; 高曉佳; 王春梅; 于洪剛; 崔樹永 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 航天睿特碳材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 談杰
地址 253700 山東省德州市慶云紅云高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東環(huán)路中段路東2588號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種碳/碳復(fù)合材料的快速低成本CVD致密方法，將預(yù)制體與內(nèi)芯模裝配在一起，進(jìn)行高溫預(yù)處理，處理后將預(yù)制體與內(nèi)芯模置于CVD設(shè)備沉積室的上下石墨電極之間，加熱并通入碳源氣體，經(jīng)過40～200h，即可一次性制備碳/碳復(fù)合材料產(chǎn)品。本發(fā)明方法有如下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：1.集溫差法、限氣法以及自發(fā)熱特點(diǎn)的沉積工藝優(yōu)勢(shì)一體，不僅有效預(yù)防表層熱解碳結(jié)殼對(duì)沉積致密的影響，增強(qiáng)碳源氣體向預(yù)制體內(nèi)擴(kuò)散的能力，可大幅度提升沉積效率；2.避免增密不均勻問題的出現(xiàn)，產(chǎn)品質(zhì)量一致；3.生產(chǎn)能耗低，有較低的工藝生產(chǎn)成本；4.氣流的控制程度高，氣體利用率高；5.預(yù)制體與石墨內(nèi)芯模的脫模容易，操作性好；6.可精確控制產(chǎn)品密度狀態(tài)，獲得準(zhǔn)確的產(chǎn)品效果。