一種等溫CVD法制備單晶熱場(chǎng)產(chǎn)品的裝爐結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920487146.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210177004U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-03-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210177004U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B25/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 姜召陽(yáng);曹磊;羅昆鵬;陳小飛;張貴岐;高曉佳;于紅剛;王春梅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 航天睿特碳材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京金宏來(lái)專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 苗彩娟 |
| 地址 | 253700山東省德州市慶云紅云高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)東環(huán)路中段路東2588號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提出了一種等溫CVD法制備單晶熱場(chǎng)產(chǎn)品的裝爐結(jié)構(gòu)，包括筒狀的保溫筒體，所述保溫筒體由若干保溫筒疊加形成，安裝在爐筒底部設(shè)置的石墨料盤(pán)上，所述保溫筒體內(nèi)疊加若干導(dǎo)氣裝置；所述保溫筒體頂端設(shè)有圓環(huán)形限氣板，所述圓環(huán)形限氣板的內(nèi)環(huán)邊沿與保溫筒體的頂端連接，外環(huán)邊沿與爐筒內(nèi)壁連接；所述爐筒頂部連接石墨導(dǎo)氣管，所述石墨導(dǎo)氣管底部伸入頂部的導(dǎo)氣裝置內(nèi)，且所述石墨導(dǎo)氣管上設(shè)有若干氣孔。本實(shí)用新型保證氣體從坩堝和導(dǎo)流筒的間隙、坩堝和保溫筒體間隙及導(dǎo)流筒內(nèi)部均進(jìn)行沉積，減少沉積距離，提高沉積效率；通過(guò)第一分氣工裝和第二分氣工裝的作用，提高導(dǎo)流筒底部距離坩堝內(nèi)底的距離，增加氣體流暢性，避免出現(xiàn)炭黑的現(xiàn)象。?? |
