一種晶圓對(duì)中裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820449921.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208093534U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-11-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208093534U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-11-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/68 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙寧;白富強(qiáng);陳波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海新創(chuàng)達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司;上海新創(chuàng)達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號(hào)2幢2區(qū)24144室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓對(duì)中裝置，其中晶圓對(duì)中裝置包括控制器，可旋轉(zhuǎn)的支撐臺(tái)組件，若干夾爪組件，可徑向伸縮的裝設(shè)于支撐臺(tái)組件上，且布置在晶圓擺放位置的四周側(cè)，張力模塊，連接至夾爪組件，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)張力模塊與夾爪組件連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)張力模塊帶動(dòng)夾爪組件伸縮以調(diào)整晶圓位置，以及缺邊尋找傳感器，設(shè)置在支撐臺(tái)組件上，以感測(cè)晶圓的缺邊位置，其中，控制器根據(jù)張力模塊的張力變化控制夾爪組件對(duì)晶圓的夾緊力，并且根據(jù)缺邊尋找傳感器的檢測(cè)結(jié)果控制支撐臺(tái)組件旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)晶圓到預(yù)設(shè)角度，控制器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使其帶動(dòng)夾爪組件將晶圓移動(dòng)到預(yù)設(shè)位置。實(shí)現(xiàn)對(duì)于超薄、形狀不規(guī)則的晶圓的快速對(duì)中。 |
