一種可旋轉調整的曝光載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910521533.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110426920A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN110426920A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G03F7/20;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 林錦偉;林偉銘;鐘艾東;甘凱杰;翁佩雪;鄧丹丹;郭文海;趙玉會 申請（專利權）人 福建省福聯集成電路有限公司
代理機構 福州市景弘專利代理事務所（普通合伙） 代理人 林祥翔;徐劍兵
地址 351117 福建省莆田市涵江區(qū)江口鎮(zhèn)赤港涵新路3688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種可旋轉調整的曝光載臺，包括上真空載臺、下真空載臺、旋轉機構、水平度模塊、控制器和架體，旋轉機構包括旋轉架和動力單元。先放置一塊晶圓于上真空載臺上，開啟真空將晶圓吸住。再通過控制控制動力單元將旋轉架轉動180度，使得下真空載臺位于上方，放置晶圓并通過真空進行吸附，完成晶圓的放置。此時，通過水平度模塊檢測旋轉機構的水平度，并傳輸至控制器內，通過控制器控制動力單元調整旋轉架，使得旋轉架達到符合要求的水平度范圍值內。進而對上、下真空載臺的晶圓進行分別曝光，達到提高晶圓的曝光質量的目的。