一種智能測距的晶圓尋邊裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910619571.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110459488A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN110459488A 申請公布日 2021-06-18
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳淑芳;陳智廣;李立中;黃光偉;馬躍輝;吳靖;莊永淳;林偉銘 申請（專利權）人 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
代理機構 福州市景弘專利代理事務所（普通合伙） 代理人 徐劍兵;魏小霞
地址 351117福建省莆田市涵江區(qū)江口鎮(zhèn)赤港涵新路3688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓尋邊技術領域，特別涉及一種智能測距的晶圓尋邊裝置和方法。所述一種智能測距的晶圓尋邊裝置，包括：載臺、尋邊裝置底座、旋轉手臂、紅外感應器、伺服馬達紅外測距手臂和紅外線測距傳感器；尋邊裝置底座連接所述載臺；旋轉手臂設置于載臺上方；紅外感應器設置于旋轉手臂上；伺服馬達紅外測距手臂設置于旋轉手臂上，紅外線測距傳感器設置于伺服馬達紅外測距手臂上；紅外線測距傳感器用于：測得待測物與伺服馬達紅外測距手臂的距離L，及測得待測物邊緣與紅外線測距傳感器的距離X。通過該裝置，可快速有效地對晶圓的notch角進行尋邊，且就算尋邊異常時，亦不存在降低機臺的妥善率的問題，減少生產成本，提高產線生產力。