一種智能測(cè)距的晶圓尋邊裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910619571.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110459488B 公開（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110459488B 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳淑芳;陳智廣;李立中;黃光偉;馬躍輝;吳靖;莊永淳;林偉銘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州市景弘專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐劍兵;魏小霞
地址 351117 福建省莆田市涵江區(qū)江口鎮(zhèn)赤港涵新路3688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓尋邊技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種智能測(cè)距的晶圓尋邊裝置和方法。所述一種智能測(cè)距的晶圓尋邊裝置，包括：載臺(tái)、尋邊裝置底座、旋轉(zhuǎn)手臂、紅外感應(yīng)器、伺服馬達(dá)紅外測(cè)距手臂和紅外線測(cè)距傳感器；尋邊裝置底座連接所述載臺(tái)；旋轉(zhuǎn)手臂設(shè)置于載臺(tái)上方；紅外感應(yīng)器設(shè)置于旋轉(zhuǎn)手臂上；伺服馬達(dá)紅外測(cè)距手臂設(shè)置于旋轉(zhuǎn)手臂上，紅外線測(cè)距傳感器設(shè)置于伺服馬達(dá)紅外測(cè)距手臂上；紅外線測(cè)距傳感器用于：測(cè)得待測(cè)物與伺服馬達(dá)紅外測(cè)距手臂的距離L，及測(cè)得待測(cè)物邊緣與紅外線測(cè)距傳感器的距離X。通過該裝置，可快速有效地對(duì)晶圓的notch角進(jìn)行尋邊，且就算尋邊異常時(shí)，亦不存在降低機(jī)臺(tái)的妥善率的問題，減少生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)線生產(chǎn)力。