一種可旋轉(zhuǎn)調(diào)整的曝光載臺(tái)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910521533.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110426920B 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號(hào) CN110426920B 申請公布日 2021-06-18
分類號(hào) G03F7/20;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 林錦偉;林偉銘;鐘艾東;甘凱杰;翁佩雪;鄧丹丹;郭文海;趙玉會(huì) 申請（專利權(quán)）人 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州市景弘專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 林祥翔;徐劍兵
地址 351117 福建省莆田市涵江區(qū)江口鎮(zhèn)赤港涵新路3688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種可旋轉(zhuǎn)調(diào)整的曝光載臺(tái)，包括上真空載臺(tái)、下真空載臺(tái)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、水平度模塊、控制器和架體，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)架和動(dòng)力單元。先放置一塊晶圓于上真空載臺(tái)上，開啟真空將晶圓吸住。再通過控制控制動(dòng)力單元將旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)180度，使得下真空載臺(tái)位于上方，放置晶圓并通過真空進(jìn)行吸附，完成晶圓的放置。此時(shí)，通過水平度模塊檢測旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的水平度，并傳輸至控制器內(nèi)，通過控制器控制動(dòng)力單元調(diào)整旋轉(zhuǎn)架，使得旋轉(zhuǎn)架達(dá)到符合要求的水平度范圍值內(nèi)。進(jìn)而對上、下真空載臺(tái)的晶圓進(jìn)行分別曝光，達(dá)到提高晶圓的曝光質(zhì)量的目的。