一種砷化鎵集成電路制造黃光區(qū)自動(dòng)化系統(tǒng)和裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910575710.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110429047A 公開（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110429047A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/677;G03F7/20 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙玉會(huì);翁佩雪;郭文海;鄧丹丹;林錦偉;林偉銘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建省福聯(lián)集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州市景弘專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏小霞;徐劍兵
地址 351117 福建省莆田市涵江區(qū)江口鎮(zhèn)赤港涵新路3688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及砷化鎵集成電路技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種砷化鎵集成電路制造黃光區(qū)自動(dòng)化系統(tǒng)和裝置。所述一種砷化鎵集成電路制造黃光區(qū)自動(dòng)化系統(tǒng)，包括：參數(shù)控制單元、涂膠單元、曝光單元、顯影單元、檢測(cè)單元和晶舟傳送單元；參數(shù)控制單元分別連接所述涂膠單元、曝光單元、顯影單元、檢測(cè)單元和晶舟傳送單元；所述參數(shù)控制單元用于：獲取不同單元的參數(shù)值，并根據(jù)不同的參數(shù)值對(duì)不同的單元發(fā)出不同的指令；所述晶舟傳送單元用于：將晶片從一個(gè)單元傳送至另一個(gè)單元。整個(gè)作業(yè)過(guò)程自動(dòng)化，無(wú)需人工參與，不僅節(jié)約步驟，提高效率，同時(shí)也避免了一些人為操作上造成的錯(cuò)誤。