一種探針卡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010315653.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113533929A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113533929A 申請公布日 2021-10-22
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 牛剛 申請（專利權）人 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司
代理機構 北京市一法律師事務所 代理人 劉榮娟
地址 300385天津市西青區(qū)興華道19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N探針卡，所述探針卡包括：基板；以及多個探針，所述多個探針分別與所述基板電連接，其中，所述多個探針的每個探針在所述基板上的投影都落在同一直線上。本申請所述的探針卡，所述多個探針的每個探針在所述基板上的投影都落在同一直線上，探針沿切割道的方向接觸焊墊，不會滑出焊墊，探針和焊墊有良好的接觸，扎針深度較深，晶圓測試能力較好，并且相較于常規(guī)探針卡，只需要簡單調整探針的排列方式，沒有大的改造，不會提高探針卡造價。