一種低成本納米多孔硅和氧化硅超細(xì)微粒的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610374292.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106000286B 公開（公告）日 2018-11-16
申請公布號 CN106000286B 申請公布日 2018-11-16
分類號 B01J20/10;B01J20/30;B01D39/06;C01B33/18 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 孫卓;劉素霞 申請（專利權(quán)）人 上海納晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京連城創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海納晶科技有限公司
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號理科大樓A6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和太陽能硅材料技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種低成本納米多孔硅和氧化硅超細(xì)微粒的制備方法。一種低成本納米多孔硅和氧化硅超細(xì)微粒的制備方法，采用金剛石線在去離子水中切割硅片后所產(chǎn)生的硅粉水溶液作為原材料，制備方法如下：將硅粉水溶液經(jīng)過提純獲得的水合硅微粒；將水合硅微?？稍跉浞崤c硝酸水溶液中通過化學(xué)腐蝕工藝制備出納米多孔硅微粒；將納米多孔硅微粒直接進(jìn)行加熱后可制備出高比表面積的納米多孔水合氧化硅或氧化硅微粒材料，作為高效吸附或過濾材料使用。同現(xiàn)有技術(shù)相比，提供一種低成本納米多孔硅和氧化硅超細(xì)微粒的制備方法，經(jīng)生產(chǎn)工藝改進(jìn)后，將硅微粒轉(zhuǎn)化為水合納米多孔硅和氧化硅微粒，使其得以資源化利用。