MEMS加速度計(jì)及其信號處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110971546.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113419081B 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN113419081B 申請公布日 2021-11-23
分類號 G01P15/125（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李森科·伊戈?duì)枴と~夫根耶維奇;徐寶;徐元;吳剛 申請（專利權(quán)）人 杭州高科技融資擔(dān)保有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州創(chuàng)智卓英知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張迪
地址 310000浙江省杭州市濱江區(qū)浦沿街道六和路368號一幢（北）三樓D3283室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及MEMS加速度計(jì)，包括：第一襯底；檢驗(yàn)質(zhì)量塊，彈性連接在所述第一襯底上，且能與所述第一襯底產(chǎn)生相對位移，所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊包括相對的第一側(cè)、第三側(cè)，以及相對的第二側(cè)、第四側(cè)，所述第一側(cè)、所述第二側(cè)、所述第三側(cè)和所述第四側(cè)均設(shè)有兩個移動梳齒；固定梳，固定設(shè)置于所述第一襯底上，所述固定梳包括固定梳齒和框架，所述固定梳齒與所述移動梳齒一一對應(yīng)設(shè)置；每個所述固定梳齒和最近的所述移動梳齒組成感測梳，所述感測梳的梳齒方向均垂直于所述加速度計(jì)的運(yùn)動方向。本發(fā)明能夠在不改變傳感器設(shè)計(jì)和信號處理方案的情況下，實(shí)時選擇四個加速度量程之一的信號，測量精度高、制造成本低。