MEMS加速度計(jì)及其信號(hào)處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110971546.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113419081B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113419081B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01P15/125（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李森科·伊戈?duì)枴と~夫根耶維奇;徐寶;徐元;吳剛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 杭州高科技融資擔(dān)保有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州創(chuàng)智卓英知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張迪 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市濱江區(qū)浦沿街道六和路368號(hào)一幢（北）三樓D3283室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及MEMS加速度計(jì)，包括：第一襯底；檢驗(yàn)質(zhì)量塊，彈性連接在所述第一襯底上，且能與所述第一襯底產(chǎn)生相對(duì)位移，所述檢驗(yàn)質(zhì)量塊包括相對(duì)的第一側(cè)、第三側(cè)，以及相對(duì)的第二側(cè)、第四側(cè)，所述第一側(cè)、所述第二側(cè)、所述第三側(cè)和所述第四側(cè)均設(shè)有兩個(gè)移動(dòng)梳齒；固定梳，固定設(shè)置于所述第一襯底上，所述固定梳包括固定梳齒和框架，所述固定梳齒與所述移動(dòng)梳齒一一對(duì)應(yīng)設(shè)置；每個(gè)所述固定梳齒和最近的所述移動(dòng)梳齒組成感測(cè)梳，所述感測(cè)梳的梳齒方向均垂直于所述加速度計(jì)的運(yùn)動(dòng)方向。本發(fā)明能夠在不改變傳感器設(shè)計(jì)和信號(hào)處理方案的情況下，實(shí)時(shí)選擇四個(gè)加速度量程之一的信號(hào)，測(cè)量精度高、制造成本低。 |
