一種高效晶硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池的TCO鍍膜工藝方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010645985.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111883621A | 公開（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申請公布號 | CN111883621A | 申請公布日 | 2020-11-03 |
| 分類號 | H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 汪濤;郭小勇;凌俊;易治凱 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇愛康科技股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 江陰市揚子專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 江蘇愛康能源研究院有限公司;浙江愛康光電科技有限公司;江蘇愛康科技股份有限公司 |
| 地址 | 215600江蘇省蘇州市張家港市楊舍鎮(zhèn)華昌路188號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及的一種高效晶硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池的TCO鍍膜工藝方法，它包括以下內(nèi)容：N型硅襯底進行制絨、清洗處理；通過PECVD制備雙面本征非晶硅層；選取N型非晶硅膜為受光面摻雜層，使用等離子體增強化學氣相沉積制備N型非晶硅摻雜層；使用等離子體化學氣相沉積制備P型非晶硅摻雜層；使用RPD方法沉積TCO導電膜，鍍膜時工藝腔內(nèi)通入固定流量的Ar、H2混合氣體；通過絲網(wǎng)印刷形成正背面Ag電極；固化使得銀柵線與TCO導電膜之間形成良好的歐姆接觸；進行測試電池的電性能。本發(fā)明提升載流子遷移率與透光性、降低方租，進而提高電池的電流及填充因子，進而提高電池的電性能。?? |
