孔徑測(cè)量裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210441146.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102997857B 公開（公告）日 2015-11-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN102997857B 申請(qǐng)公布日 2015-11-18
分類號(hào) G01B11/08(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 方文;李嘯;蘇志鋒;劉旭明;陳玨然 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福群電子（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 福群電子(深圳)有限公司
地址 518129 廣東省深圳市布吉坂田大發(fā)埔布龍公路663號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種孔徑測(cè)量裝置及方法，該裝置包括：底座；移動(dòng)平臺(tái)，設(shè)于底座上，并且相對(duì)于底座可滑動(dòng)；平臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)滑動(dòng)；兩個(gè)CCD相機(jī)，固定于底座上，并間隔相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)CCD相機(jī)均具有攝像鏡頭，并且相對(duì)安置；兩個(gè)遠(yuǎn)心透鏡，分別設(shè)于兩個(gè)CCD相機(jī)的鏡頭處；兩個(gè)光源，分別安裝在兩個(gè)遠(yuǎn)心透鏡中；定位夾具，固定于移動(dòng)平臺(tái)上，并且位于兩個(gè)攝像孔之間；反光鏡，靠近定位夾具設(shè)置，反光鏡的相對(duì)兩側(cè)面均為反射面；反光鏡驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)于移動(dòng)平臺(tái)上，用于驅(qū)動(dòng)反光鏡移動(dòng)；平臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)在兩個(gè)CCD相機(jī)之間移動(dòng)。上述孔徑測(cè)量裝置及方法，其可測(cè)量具有多層結(jié)構(gòu)的工件的中間孔徑，并且檢測(cè)效率較高、速度較快、可避免刮傷待檢測(cè)工件。