一種硫系多元合金靶材及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910526761.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110396665A 公開（公告）日 2019-11-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN110396665A 申請(qǐng)公布日 2019-11-01
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I; C23C14/14（2006.01）I; C22C30/00（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 何金江; 石紅春; 萬小勇; 劉曉華; 張曉娜; 毛永軍; 閆緩; 李勇軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 有研新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳波
地址 100088 北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號(hào)院有研新材料股份有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硫系多元合金靶材及其制造方法，所述靶材包括的化學(xué)元素及其質(zhì)量分?jǐn)?shù)為：鍺10?30％，砷20?40％，硒30?50％，硅0?10％，碲0?10％；所述靶材的相對(duì)密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空條件下合成高純度合金，再采用高速噴嘴氣霧化制球形粉末，合金快速凝固成玻璃態(tài)，同時(shí)增氧很小，最后采用真空熱壓或者放電等離子體燒結(jié)實(shí)現(xiàn)高致密燒結(jié)成形，燒結(jié)過程中不存在污染問題。采用本發(fā)明制備的硫系多元合金靶材的綜合性能好，組織性能優(yōu)異，密度高，氧含量低。