籽晶清洗用置放結構及應用于鍺單晶生長的籽晶清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022910260.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214736104U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214736104U 申請公布日 2021-11-16
分類號 C23G3/00（2006.01）I;C30B29/08（2006.01）I;C30B15/36（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王博;李燕;柴晨;雷同光;王宇;馮德伸;于洪國;林泉 申請（專利權）人 有研新材料股份有限公司
代理機構 北京辰權知識產權代理有限公司 代理人 金銘
地址 100089北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種籽晶清洗用置放結構及應用于鍺單晶生長的籽晶清洗裝置，該籽晶清洗用置放結構包括框架本體和多個限位凹槽，框架本體包括至少三個側板，所述至少三個側板均豎直設置，并且所述框架本體為采用所述至少三個側板合圍形成；所述多個限位凹槽均設置在所述側板的頂部，用于盛放籽晶。該籽晶清洗用置放結構通過在側板的頂部側面上設置限位凹槽，能更大限度地將籽晶全部浸潤在清洗液中，清洗較為徹底；同時還起到限位作用，避免籽晶之間產生磕碰，使得籽晶清洗更加徹底、安全。