坩堝桿及直拉單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922421356.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211471632U 公開（公告）日 2020-09-11
申請公布號 CN211471632U 申請公布日 2020-09-11
分類號 C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 魏煒;雷同光;李燕 申請（專利權(quán)）人 有研新材料股份有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董李欣
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊興都村南有研科技集團有限公司二部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種坩堝桿及直拉單晶爐，所述坩堝桿的內(nèi)部具有冷卻水循環(huán)管路，并且所述冷卻水循環(huán)管路沿著所述坩堝桿的高度方向設(shè)置；所述冷卻水循環(huán)管路的進水口和至少一個出水口均設(shè)置在所述坩堝桿的底部。該坩堝桿能有效降低坩堝桿實用過程中的溫度，有效保護密封結(jié)構(gòu)，最終保障單晶成品率。??