監(jiān)測熱偶固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022996666.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214372975U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214372975U 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01K1/143（2021.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 權(quán)盼;張路;馬英俊;張潔;張賡;許興;林泉;劉向前 申請（專利權(quán)）人 有研新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 金銘
地址 100089北京市海淀區(qū)北三環(huán)中路43號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導(dǎo)體器件加工制造領(lǐng)域，具體涉及一種監(jiān)測熱偶固定裝置，包括：套管，具有用于容納所述監(jiān)測熱偶的管腔,所述套管的外壁面上標(biāo)有刻度；工裝卡具，包括本體，所述本體具有套管孔以及安裝孔，所述套管孔用于容納所述套管；支撐桿，所述工裝卡具通過所述安裝孔安裝在所述支撐桿上，以將所述工裝卡具吊裝在待測溫石英管的上方。通過使用帶刻度的套管固定監(jiān)測熱偶，并通過工裝卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解決了監(jiān)測熱偶位置不準(zhǔn)確，重復(fù)性較差的問題，使得監(jiān)測熱偶得以精確固定，提高了監(jiān)測熱偶的測溫的準(zhǔn)確性。