一種用于硅芯拉制時(shí)提高硅芯結(jié)晶速度的吹氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921012072.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210560875U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210560875U 申請公布日 2020-05-19
分類號 C30B27/02;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 邵瑋;藺紅輝;戚振華 申請（專利權(quán)）人 洛陽金諾機(jī)械工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 471000 河南省洛陽市高新開發(fā)區(qū)豐華路6號銀昆科技園1號樓四層D10
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于硅芯拉制時(shí)提高硅芯結(jié)晶速度的吹氣裝置，涉及人工晶體領(lǐng)域，本實(shí)用新型在每個吹氣管（4）的進(jìn)氣端分別設(shè)置節(jié)流閥（2），可以對不同結(jié)晶溫度的拉制孔實(shí)現(xiàn)吹氣量的調(diào)節(jié)，這樣可以保證每個結(jié)晶區(qū)的結(jié)晶溫度一致，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)多根硅芯的同時(shí)拉制，有效的保證了硅芯質(zhì)量等，硅芯的快速均勻冷卻可以提高晶體的拉制速度、增加所拉制的硅芯的直徑，而硅芯直徑的加大，又使其后期在還原爐內(nèi)的生長速度加快，由此提高了生產(chǎn)效率等，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，使用效果好等優(yōu)點(diǎn)，適合大范圍的推廣和應(yīng)用。