一種自聚焦透鏡成品折射率分布檢測(cè)方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111200904.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113639973A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113639973A 申請(qǐng)公布日 2021-11-12
分類號(hào) G01M11/02（2006.01）I;G01N21/45（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 高視科技（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號(hào)11幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種自聚焦透鏡成品折射率分布檢測(cè)方法及系統(tǒng)，通過(guò)激光光路結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，無(wú)需對(duì)自聚焦透鏡進(jìn)行切片處理，直接對(duì)自聚焦透鏡成品進(jìn)行檢測(cè)，增加了自聚焦透鏡折射率分布的檢測(cè)效率；且本發(fā)明中參考光束、測(cè)試光束共光路，屬于斐索干涉光路，采用自聚焦透鏡前表面反射光與標(biāo)準(zhǔn)球面鏡反射光的干涉條紋解析自聚焦透鏡折射率分布，避免了傳統(tǒng)自聚焦透鏡折射率分布檢測(cè)方法中光學(xué)元件過(guò)多的問(wèn)題，且其他光學(xué)元件的偏離對(duì)光程差的影響幾乎相同，可克服環(huán)境的干擾。