一種基于反射激光空間分布的物體三維形貌測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111200906.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113639663B 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號(hào) CN113639663B 申請公布日 2021-12-28
分類號(hào) G01B11/24（2006.01）I;G06T17/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 高視科技（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號(hào)11幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于反射激光空間分布的物體三維形貌測量方法?；诜瓷浼す饪臻g分布提出了一種物體三維形貌測量方法，通過兩束激光光束得到兩個(gè)位置探測器的相關(guān)數(shù)據(jù)計(jì)算出被測點(diǎn)的高度信息和斜度信息，根據(jù)若干被測點(diǎn)的高度信息和斜度信息還原待測表面的三維形貌。相對于現(xiàn)有技術(shù)中根據(jù)被測點(diǎn)的高度還原的三維形貌更加精確，更能夠滿足半導(dǎo)體器件的表面形貌測量的高精度要求。