一種基于反射激光空間分布的物體三維形貌測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111200906.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113639663A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113639663A 申請公布日 2021-11-12
分類號 G01B11/24（2006.01）I;G06T17/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 高視科技（蘇州）股份有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 賀杰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)嘉陵江路198號11幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于反射激光空間分布的物體三維形貌測量方法。基于反射激光空間分布提出了一種物體三維形貌測量方法，通過兩束激光光束得到兩個位置探測器的相關數(shù)據(jù)計算出被測點的高度信息和斜度信息，根據(jù)若干被測點的高度信息和斜度信息還原待測表面的三維形貌。相對于現(xiàn)有技術中根據(jù)被測點的高度還原的三維形貌更加精確，更能夠滿足半導體器件的表面形貌測量的高精度要求。