一種真空插板開(kāi)關(guān)閥
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921807612.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211820816U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211820816U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | F16K3/18(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 牛建新;葉云霞;戴峰澤;任旭東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 托倫斯精密機(jī)械（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 盧霞 |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)合慶工業(yè)區(qū)東勝路308號(hào)2幢1樓B區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空插板開(kāi)關(guān)閥，包括控制系統(tǒng)、位置傳感器、升降軸、閥門(mén)、密封圈、閥體、外支架、氣缸二、楔形滑塊、限位塊、復(fù)位裝置、楔形升降塊、氣缸一、導(dǎo)軌和內(nèi)支架。本實(shí)用新型的真空插板開(kāi)關(guān)閥具有三個(gè)不同的工作狀態(tài)，即開(kāi)啟狀態(tài)、關(guān)閉狀態(tài)以及鎖緊狀態(tài)；當(dāng)需要鎖緊開(kāi)關(guān)閥時(shí)，動(dòng)作順序?yàn)殚_(kāi)啟狀態(tài)?關(guān)閉?鎖緊；當(dāng)需要開(kāi)啟開(kāi)關(guān)閥時(shí)，動(dòng)作順序?yàn)殒i緊狀態(tài)?關(guān)閉?開(kāi)啟。本實(shí)用新型的真空插板開(kāi)關(guān)閥具有結(jié)構(gòu)緊湊，密封可靠性高的特點(diǎn)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕真空反映腔的密封。?? |
