一種真空插板開關閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921807612.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211820816U 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN211820816U 申請公布日 2020-10-30
分類號 F16K3/18(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 牛建新;葉云霞;戴峰澤;任旭東 申請（專利權）人 托倫斯精密機械（上海）有限公司
代理機構 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 盧霞
地址 200120上海市浦東新區(qū)合慶工業(yè)區(qū)東勝路308號2幢1樓B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種真空插板開關閥，包括控制系統(tǒng)、位置傳感器、升降軸、閥門、密封圈、閥體、外支架、氣缸二、楔形滑塊、限位塊、復位裝置、楔形升降塊、氣缸一、導軌和內支架。本實用新型的真空插板開關閥具有三個不同的工作狀態(tài)，即開啟狀態(tài)、關閉狀態(tài)以及鎖緊狀態(tài)；當需要鎖緊開關閥時，動作順序為開啟狀態(tài)?關閉?鎖緊；當需要開啟開關閥時，動作順序為鎖緊狀態(tài)?關閉?開啟。本實用新型的真空插板開關閥具有結構緊湊，密封可靠性高的特點，可應用于半導體刻蝕真空反映腔的密封。??