一種真空插板開關(guān)閥的密封結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921808501.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211820960U | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211820960U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | F16K31/12(2006.01)I;F16K27/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 牛建新;戴峰澤;葉云霞;任旭東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 托倫斯精密機(jī)械（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 盧霞 |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)合慶工業(yè)區(qū)東勝路308號(hào)2幢1樓B區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開一種真空插板開關(guān)閥的密封結(jié)構(gòu)，包括升降軸、氣缸、閥門、密封圈和閥體；升降軸上安裝有四個(gè)氣缸；氣缸的活動(dòng)端安裝有閥門；閥門的右端加工有燕尾止口；閥門的右端安裝有密封圈，密封圈的密封面為平面型密封面；閥體的左端設(shè)有微織構(gòu)密封面；密封狀態(tài)時(shí)，密封圈的平面型密封面與閥體的微織構(gòu)密封面相接觸；四個(gè)氣缸均勻分布于閥門的四個(gè)角點(diǎn)，且正對(duì)于密封圈。本實(shí)用新型大幅度提高了真空插板開關(guān)閥的密封效果和可靠性，可應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕反應(yīng)腔的密封。?? |
