一種真空插板開關(guān)閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911023818.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110725962A 公開（公告）日 2020-01-24
申請公布號 CN110725962A 申請公布日 2020-01-24
分類號 F16K3/18;F16K3/316;F16K31/12;F16K37/00;F15B21/08 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 牛建新;葉云霞;戴峰澤;任旭東 申請（專利權(quán)）人 托倫斯精密機械（上海）有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 盧霞
地址 200120 上海市浦東新區(qū)合慶工業(yè)區(qū)東勝路308號2幢1樓B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種真空插板開關(guān)閥，包括控制系統(tǒng)、位置傳感器、升降軸、閥門、密封圈、閥門、外支架、氣缸二、契形滑塊、限位塊、復(fù)位裝置、契形升降塊、氣缸一、導(dǎo)軌和內(nèi)支架。本發(fā)明的真空插板開關(guān)閥具有三個不同的工作狀態(tài)，即開啟狀態(tài)、關(guān)閉狀態(tài)以及鎖緊狀態(tài)；當需要鎖緊開關(guān)閥時，動作順序為開啟狀態(tài)?關(guān)閉?鎖緊；當需要開啟開關(guān)閥時，動作順序為鎖緊狀態(tài)?關(guān)閉?開啟。本發(fā)明的真空插板開關(guān)閥具有結(jié)構(gòu)緊湊，密封可靠性高的特點，可應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕真空反映腔的密封。