一種真空插板開(kāi)關(guān)閥的密封結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911023140.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110805738A 公開(kāi)（公告）日 2020-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110805738A 申請(qǐng)公布日 2020-02-18
分類(lèi)號(hào) F16K31/12;F16K27/00 分類(lèi) 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 牛建新;戴峰澤;葉云霞;任旭東 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 托倫斯精密機(jī)械（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 盧霞
地址 200120 上海市浦東新區(qū)合慶工業(yè)區(qū)東勝路308號(hào)2幢1樓B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種真空插板開(kāi)關(guān)閥的密封結(jié)構(gòu)，包括升降軸、氣缸、閥門(mén)、密封墊和閥體；升降軸上安裝有四個(gè)氣缸；氣缸的活動(dòng)端安裝有閥門(mén)；閥門(mén)的右端加工有燕尾止口；閥門(mén)的右端安裝有密封圈，密封圈的密封面為平面型密封面；閥體的左端設(shè)有微織構(gòu)密封面；密封狀態(tài)時(shí)，密封圈的平面型密封面與閥體的微織構(gòu)密封面相接觸；四個(gè)氣缸均勻分布于閥門(mén)的四個(gè)角點(diǎn)，且正對(duì)于密封圈。本發(fā)明大幅度提高了真空插板開(kāi)關(guān)閥的密封效果和可靠性，可應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕反應(yīng)腔的密封。