一種晶片用夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023305098.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214123857U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214123857U 申請公布日 2021-09-03
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱亮;沈文杰;謝龍輝;謝永旭;倪少博;張帥;陳道光;呂佳鵬 申請（專利權）人 浙江晶盛機電股份有限公司
代理機構 杭州中成專利事務所有限公司 代理人 周世駿
地址 312300浙江省紹興市上虞區(qū)通江西路218號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶片拋光設備領域，具體涉及一種晶片用夾持裝置。夾持裝置設于支撐座上，支撐座與擺臂連接，擺臂在伺服電機的驅動下能上下擺動。夾持裝置包括夾持安裝座、夾持氣缸、后夾緊塊與前夾緊塊；夾持氣缸固定在夾持安裝座前側，氣缸的活塞桿與連接塊連接，平行設置的兩根導向桿的一端固定在連接塊上，另一端與后夾持塊連接；夾持安裝座后側固設于連軸，前夾持塊通過安裝在連軸上，前夾持塊和后夾持塊的形狀和加持角度與晶片外緣適配。本實用新型采用的是夾持方式，不接觸晶片的上下表面，減少了對晶片上下表面的損傷。