一種可自動(dòng)貼合拋光布的晶片固定裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023217012.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214123856U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214123856U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 朱亮;沈文杰;謝龍輝;謝永旭;倪少博;張帥;陳道光;呂佳鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州中成專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 周世駿 |
| 地址 | 312300浙江省紹興市上虞區(qū)通江西路218號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于晶片拋光設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種可自動(dòng)貼合拋光布的晶片固定裝置。包括軸承座，軸承座內(nèi)通過(guò)軸承設(shè)有空心旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸頂端設(shè)有真空吸盤(pán)，轉(zhuǎn)軸底端連接真空旋轉(zhuǎn)接頭；真空吸盤(pán)上端面上設(shè)有多圈同心環(huán)形溝槽，軸承座上端面還設(shè)有鎖緊裝置，根據(jù)工況能通過(guò)鎖緊裝置對(duì)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行鎖緊。本實(shí)用新型本實(shí)用新型采用的晶片固定方式，不僅可以滿足V槽型晶片的V槽拋光，同時(shí)也能平邊型晶片的平邊拋光，并可使拋光時(shí)晶片完全貼合拋光布，提高了拋光質(zhì)量。 |
