一種基板掃邊處理系統(tǒng)及基板掃邊處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011550529.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112894592A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112894592A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-04 |
| 分類號(hào) | B24B1/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B9/00（2006.01）I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 古海裕;申屠江民;王連彬;祝宇;許亮;賴振風(fēng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江萊寶科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 321016浙江省金華市婺城區(qū)涌雪街333號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于基板加工技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，是涉及一種基板掃邊處理系統(tǒng)及基板掃邊處理方法。通過(guò)控制待掃邊基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，控制拋光輪沿單一直線上的來(lái)回方向進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)完成每次掃邊動(dòng)作，更容易控制拋光輪每次掃邊切入待處理基板的切入量相同，同時(shí)保證每次掃邊動(dòng)作的穩(wěn)定性，從而有效地解決了小片型基板進(jìn)行掃邊處理時(shí)難以確保邊緣的平整性的技術(shù)問(wèn)題，提升了基板邊緣的平整性和穩(wěn)定性。?? |
