一種基板清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023165271.2 申請日 -
公開(公告)號 CN214321011U 公開(公告)日 2021-10-01
申請公布號 CN214321011U 申請公布日 2021-10-01
分類號 B08B1/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 申屠江民;王連彬;祝宇;喬其爽 申請(專利權)人 浙江萊寶科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 321016浙江省金華市婺城區(qū)涌雪街333號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種基板清潔裝置,包括清洗臺、洗液槽、第一管道,所述清洗臺上設有多條傳動輥和至少一個清洗滾刷,所述第一管道前端連接洗液槽,末端設有噴淋機構,在平板清洗機前端對拋光后基板表面殘余的拋光粉、凝膠殘留進行有效地去除,提升原有的平板清洗能力,確保拋光基板表面清潔度滿足后續(xù)鍍膜要求和平板加工要求。