一種基板清潔裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023165271.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214321011U 公開(公告)日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN214321011U 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) B08B1/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 申屠江民;王連彬;祝宇;喬其爽 申請(qǐng)(專利權(quán))人 浙江萊寶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 321016浙江省金華市婺城區(qū)涌雪街333號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種基板清潔裝置,包括清洗臺(tái)、洗液槽、第一管道,所述清洗臺(tái)上設(shè)有多條傳動(dòng)輥和至少一個(gè)清洗滾刷,所述第一管道前端連接洗液槽,末端設(shè)有噴淋機(jī)構(gòu),在平板清洗機(jī)前端對(duì)拋光后基板表面殘余的拋光粉、凝膠殘留進(jìn)行有效地去除,提升原有的平板清洗能力,確保拋光基板表面清潔度滿足后續(xù)鍍膜要求和平板加工要求。