真空度在線檢測及其補(bǔ)償系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710804953.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107560786B 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN107560786B 申請公布日 2019-12-31
分類號 G01L21/00;F04B35/04;F04B37/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鐘曉 申請（專利權(quán)）人 成都倍特科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都立新致創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 譚德兵
地址 610017 四川省成都市高新區(qū)科技工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種真空度在線檢測及其補(bǔ)償系統(tǒng)，包括真空度檢測系統(tǒng)以及真空度補(bǔ)償裝置，所述真空度檢測系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線檢測模塊、真空在線檢測密封塞、歷史數(shù)據(jù)曲線生成模擬器、歷史數(shù)據(jù)曲線分析處理器；通過檢測模塊實時檢測真空設(shè)備的真空度，歷史數(shù)據(jù)曲線生成模擬器生成真空度的實時曲線，歷史數(shù)據(jù)曲線分析處理器根據(jù)曲線的走勢分析該設(shè)備是否已經(jīng)出現(xiàn)密封性能下降的問題，并計算出該設(shè)備的真空度何時會出現(xiàn)真空度不達(dá)標(biāo)，從而做出相應(yīng)的解決措施；為了解決真空度隨時間下降的問題，通過控制電機(jī)調(diào)節(jié)真空度補(bǔ)償腔內(nèi)的活塞，對該設(shè)備進(jìn)行抽真空操作，解決了真空設(shè)備真空度隨時間衰減的問題，這里的衰減是指正常衰減。