真空度在線檢測(cè)及其補(bǔ)償系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710804953.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107560786A 公開(kāi)（公告）日 2018-01-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN107560786A 申請(qǐng)公布日 2018-01-09
分類號(hào) G01L21/00(2006.01)I;F04B35/04(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鐘曉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都倍特科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 610017 四川省成都市高新區(qū)科技工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種真空度在線檢測(cè)及其補(bǔ)償系統(tǒng)，包括真空度檢測(cè)系統(tǒng)以及真空度補(bǔ)償裝置，所述真空度檢測(cè)系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線檢測(cè)模塊、真空在線檢測(cè)密封塞、歷史數(shù)據(jù)曲線生成模擬器、歷史數(shù)據(jù)曲線分析處理器；通過(guò)檢測(cè)模塊實(shí)時(shí)檢測(cè)真空設(shè)備的真空度，歷史數(shù)據(jù)曲線生成模擬器生成真空度的實(shí)時(shí)曲線，歷史數(shù)據(jù)曲線分析處理器根據(jù)曲線的走勢(shì)分析該設(shè)備是否已經(jīng)出現(xiàn)密封性能下降的問(wèn)題，并計(jì)算出該設(shè)備的真空度何時(shí)會(huì)出現(xiàn)真空度不達(dá)標(biāo)，從而做出相應(yīng)的解決措施；為了解決真空度隨時(shí)間下降的問(wèn)題，通過(guò)控制電機(jī)調(diào)節(jié)真空度補(bǔ)償腔內(nèi)的活塞，對(duì)該設(shè)備進(jìn)行抽真空操作，解決了真空設(shè)備真空度隨時(shí)間衰減的問(wèn)題，這里的衰減是指正常衰減。