真空度在線檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320106977.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN203083770U 公開（公告）日 2013-07-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN203083770U 申請(qǐng)公布日 2013-07-24
分類號(hào) G01L21/14(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄭文宸;鐘驍;明長友;羅存益;鄒波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都倍特科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 韓洋;熊曉果
地址 610041 四川省成都市高新區(qū)科技工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種真空度在線檢測(cè)裝置，包括用于檢測(cè)真空裝置的真空度的密封塞和用于對(duì)所述密封塞檢測(cè)到的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理的檢測(cè)模塊；所述檢測(cè)模塊包括微控制器，所述微控制器連接有通訊電路和電源電路；所述密封塞通過定流電路與所述微控制器連接；所述密封塞依次通過電流采樣電路、第一A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述密封塞還依次通過差分放大電路、第二A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接。所述密封塞檢測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識(shí)別的數(shù)字信號(hào)，微控制器通過檢測(cè)數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，準(zhǔn)確獲取真空裝置真空層的真空度，并將計(jì)算的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，便于實(shí)時(shí)檢測(cè)。