波導(dǎo)模組的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210313546.7 申請日 -
公開(公告)號 CN114660715A 公開(公告)日 2022-06-24
申請公布號 CN114660715A 申請公布日 2022-06-24
分類號 G02B6/12(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;G02B27/01(2006.01)I;B05D3/06(2006.01)I;B05D1/26(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 丁康;張學(xué)穎;孫理斌;汪杰;陳遠(yuǎn) 申請(專利權(quán))人 寧波舜宇奧來技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 315455浙江省寧波市余姚市陽明街道豐樂路67-69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種波導(dǎo)模組的制備方法。包括步驟S1:獲取第一波導(dǎo)片,在第一波導(dǎo)片的一側(cè)表面的邊緣部分進(jìn)行點膠處理步驟;S2:獲取第二波導(dǎo)片,且將第二波導(dǎo)片放置在對應(yīng)的貼合平臺上,使得第二波導(dǎo)片位于第一波導(dǎo)片具有膠水的一側(cè);步驟S3:采用激光干涉測高儀調(diào)整第一波導(dǎo)片與第二波導(dǎo)片之間的距離,開啟激光干涉測高儀的測高模塊,調(diào)整第一波導(dǎo)片的貼合平臺向靠近第二波導(dǎo)片的方向進(jìn)行移動,當(dāng)測高模塊檢測到第一波導(dǎo)片與第二波導(dǎo)片之間的距離為一預(yù)設(shè)距離時,第一波導(dǎo)片的貼合平臺停止移動;步驟S4:采用紫外線對第一波導(dǎo)片和第二波導(dǎo)片進(jìn)行固化處理以形成波導(dǎo)模組。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中波導(dǎo)模組的制備存在對準(zhǔn)精度和膠厚難以保證的問題。