一種晶圓類產(chǎn)品電鍍上下料設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110746454.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113337871A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113337871A 申請公布日 2021-09-03
分類號 C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I;C25D17/08（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 續(xù)振林;李山水;李毅峰;朱石寶;陳妙芳 申請（專利權(quán)）人 廈門柔性電子研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京康盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高會會
地址 361000福建省廈門市中國（福建）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)廈門片區(qū)象嶼路97號廈門國際航運(yùn)中心D棟8層03單元G
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓類產(chǎn)品電鍍上下料設(shè)備，包括工作臺、晶圓盒裝載裝置、晶圓機(jī)器人、晶圓校準(zhǔn)器、翻轉(zhuǎn)機(jī)械手、安裝拆卸機(jī)構(gòu)、電鍍掛具以及晶圓治具；晶圓機(jī)器人、晶圓校準(zhǔn)器、翻轉(zhuǎn)機(jī)械手以及安裝拆卸機(jī)構(gòu)均設(shè)于工作臺上，電鍍掛具則設(shè)在安裝拆卸機(jī)構(gòu)上；晶圓盒裝載裝置、晶圓校準(zhǔn)器和翻轉(zhuǎn)機(jī)械手處于晶圓機(jī)器人的晶圓取料手臂的操作范圍內(nèi)；安裝拆卸機(jī)構(gòu)處于翻轉(zhuǎn)機(jī)械手的操作范圍內(nèi)，在上料操作時(shí)，是將晶圓類產(chǎn)品連同所述晶圓治具鎖附在電鍍掛具上，并在下料操作時(shí)，是將晶圓類產(chǎn)品連同晶圓治具從電鍍掛具上解鎖并取下。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的自動上下料操作，設(shè)備操作及控制更靈活，效率高。