晶片自動定位裝置及晶片自動定位方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111286918.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114179002A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114179002A 申請公布日 2022-03-15
分類號 B25B11/00（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 朱干慧;蘇亞青;呂劍 申請（專利權(quán)）人 華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司
代理機構(gòu) 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 戴廣志
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)新洲路30號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶片自動定位裝置及晶片自動定位方法。裝置包括：晶片移動通道；機械臂用于沿著晶片移動通道的延伸方向，將晶片從晶片移動通道的一端，移動并裝載到位于晶片移動通道另一端的工作臺上；光線檢測傳感幕簾設(shè)于晶片移動通道中，光線檢測傳感幕包括多道在同一平面上的檢測光，多道檢測光之間相互平行形成檢測平面；檢測平面垂直于晶片移動通道的延伸方向；晶片在晶片移動通道中的移動過程，能夠切斷光線檢測傳感幕簾中至少一道檢測光；控制裝置；在光線檢測傳感幕簾中至少一道檢測光被切斷后，控制裝置能夠接收到傳感信息，并根據(jù)傳感信息控制機械臂，使得晶片沿著預(yù)設(shè)移動路徑移動。