一種便于晶體生長的藍寶石長晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920409429.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209854281U 公開（公告）日 2019-12-27
申請公布號 CN209854281U 申請公布日 2019-12-27
分類號 C30B29/20（2006.01）; C30B11/00（2006.01） 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張新峰 申請（專利權）人 江蘇友創(chuàng)晶體科技有限公司
代理機構 北京快易權知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 汪守勇
地址 226543 江蘇省南通市如皋市下原鎮(zhèn)興原路58號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公布了一種便于晶體生長的藍寶石長晶爐，包括架體、加熱機構、傳動機構和坩堝，架體包括爐體、爐管和蓋體，蓋體包括連接部和固接在連接部下表面的密封部，加熱機構包括上加熱組件和下加熱組件，上加熱組件包括第一射頻電源、第一匹配器和第一感應線圈，下加熱組件包括第二射頻電源、第二匹配器和第二感應線圈，傳動機構包括螺紋升降盤、旋轉升降桿、轉筒和電機，本實用新型的有益效果是，結構新穎，功能實用，本裝置在使用時，多個坩堝同時進行藍寶石晶體的生長，大大提高了生產(chǎn)的效率，而且，坩堝在下降的過程中能同步旋轉，使生長出來的晶體均勻性較好。