一種自動化晶體制造控制方法及裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201810700727.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN108998835A | 公開(公告)日 | 2018-12-14 |
申請公布號 | CN108998835A | 申請公布日 | 2018-12-14 |
分類號 | C30B35/00;G06K9/62 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 張新峰;黃國豐;王亮亮;周磊峰;龍安澤 | 申請(專利權(quán))人 | 江蘇友創(chuàng)晶體科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 黃冠華 |
地址 | 226543 江蘇省南通市如皋市下原鎮(zhèn)興原路58號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種自動化晶體制造控制方法及裝置,包括完全液化過程判斷:通過高清圖像采集設(shè)備采集爐內(nèi)原料液化圖片,并將采集的圖片與圖片庫中預存的完全液化圖片進行比對,比對成功后則輸出完全液化的指令;晶體成長過程判斷:通過高清圖像采集設(shè)備采集晶種投放處的放大圖像,并將持續(xù)采集的圖像與預存的晶體成長過程圖像進行比對,當采集的圖像與預存的晶體成長過程圖像匹配時則輸出相應名稱的指令;指令輸出:通過可視化設(shè)備將完全液化過程判斷和晶體成長過程判斷的結(jié)果轉(zhuǎn)化為可視化字符輸出。本發(fā)明的優(yōu)點:可以快速精確的判斷結(jié)晶的過程,使得工藝過程的可控性較強,且控制精度較高,有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量。 |
