一種大公斤藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721744515.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN207646335U | 公開（公告）日 | 2018-07-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207646335U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-24 |
| 分類號(hào) | C30B29/20;C30B35/00 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張新峰;周磊峰;徐建;龍安澤;蔣信 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇友創(chuàng)晶體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京快易權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 杜亞靜 |
| 地址 | 226543 江蘇省南通市如皋市下原鎮(zhèn)興原路58號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種大公斤藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，包括真空管，所述真空管的頂部中心處設(shè)置有防爆閥，所述真空管的頂部右側(cè)和底部左側(cè)均設(shè)置有六角水管接頭，所述真空管的底部左右兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第一真空計(jì)，所述真空管的左側(cè)連通有氣動(dòng)高真空擋板閥，所述氣動(dòng)高真空擋板閥的底部設(shè)置有冷阱，所述冷阱的底部設(shè)置有擴(kuò)散閥，所述旁管接頭的頂部連接有第一氣動(dòng)真空擋板閥，所述四通管的頂部連通有第二氣動(dòng)真空擋板閥。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，一方面通過(guò)設(shè)置的冷阱可以防止擴(kuò)散泵返油和降溫，降低由于擴(kuò)散泵的返油和降溫對(duì)氣動(dòng)高真空擋板閥的工作造成影響，另一方面運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中設(shè)置兩個(gè)真空擋板閥進(jìn)行微調(diào)，便于對(duì)抽氣工作進(jìn)行調(diào)節(jié)作用。 |
