一種超薄聚合物的表面處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011090039.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112210760B 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112210760B 申請公布日 2021-05-07
分類號 C23C14/02(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 廖斌;陳琳;王國梁;羅軍;龐盼 申請（專利權(quán)）人 廣東省廣新離子束科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州圣理華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡小英;張凱
地址 510663廣東省廣州市黃埔區(qū)光譜東路179號百事高智慧園C棟101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超薄聚合物的表面處理方法，在真空室內(nèi)進(jìn)行，包括將聚合物薄膜固定在放卷軸上，在導(dǎo)向輥的作用下聚合物薄膜運動到冷輥處進(jìn)行離子束表面處理，表面處理完后在導(dǎo)向輥的作用下繼續(xù)運動到收卷軸上；所述聚合物薄膜厚度低于5微米；所述離子束表面處理的裝置包括離子源系統(tǒng)、電弧系統(tǒng)以及磁控系統(tǒng)，表面處理時聚合物薄膜的溫度不高于50℃，處理順序依次為氣體離子源，電弧和磁控濺射。本發(fā)明工藝可在任何超薄聚合物表面處理上推廣，特別是不耐溫的超薄聚合物的表面覆金屬膜層，其設(shè)備使用壽命高，成本低，能實現(xiàn)大規(guī)模的卷對卷生產(chǎn)。而且能同時兼顧聚合物表面電阻率、表面粗糙度、吸水度和抗拉伸性能。??