一種超薄聚合物的表面處理方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011090039.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112210760B | 公開(公告)日 | 2021-05-07 |
申請公布號 | CN112210760B | 申請公布日 | 2021-05-07 |
分類號 | C23C14/02(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I | 分類 | - |
發(fā)明人 | 廖斌;陳琳;王國梁;羅軍;龐盼 | 申請(專利權(quán))人 | 廣東省廣新離子束科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 廣州圣理華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 胡小英;張凱 |
地址 | 510663廣東省廣州市黃埔區(qū)光譜東路179號百事高智慧園C棟101 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種超薄聚合物的表面處理方法,在真空室內(nèi)進(jìn)行,包括將聚合物薄膜固定在放卷軸上,在導(dǎo)向輥的作用下聚合物薄膜運動到冷輥處進(jìn)行離子束表面處理,表面處理完后在導(dǎo)向輥的作用下繼續(xù)運動到收卷軸上;所述聚合物薄膜厚度低于5微米;所述離子束表面處理的裝置包括離子源系統(tǒng)、電弧系統(tǒng)以及磁控系統(tǒng),表面處理時聚合物薄膜的溫度不高于50℃,處理順序依次為氣體離子源,電弧和磁控濺射。本發(fā)明工藝可在任何超薄聚合物表面處理上推廣,特別是不耐溫的超薄聚合物的表面覆金屬膜層,其設(shè)備使用壽命高,成本低,能實現(xiàn)大規(guī)模的卷對卷生產(chǎn)。而且能同時兼顧聚合物表面電阻率、表面粗糙度、吸水度和抗拉伸性能。?? |
