一種離子源陰極結構及運用該陰極結構的離子束產(chǎn)生方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011358109.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112490099A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112490099A 申請公布日 2021-03-12
分類號 H01J27/22(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖斌;龐盼;王國梁;羅軍;陳琳 申請（專利權）人 廣東省廣新離子束科技有限公司
代理機構 廣州圣理華知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 董覺非;張凱
地址 510663廣東省廣州市黃埔區(qū)光譜東路179號百事高智慧園C棟101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離子源陰極結構及運用該陰極結構的離子束產(chǎn)生方法，涉及等離子源領域。該方案包括固定法蘭盤、屏蔽套以及陰極靶材，固定法蘭盤穿設有螺紋調(diào)節(jié)桿，螺紋調(diào)節(jié)桿的一端與陰極靶材連接并驅(qū)動陰極靶材沿螺紋調(diào)節(jié)桿的軸線方向移動，螺紋調(diào)節(jié)桿的另一端設置有調(diào)節(jié)部。提供一種離子源陰極結構以及離子束的產(chǎn)生方法，當陰極靶材發(fā)生一定的消耗后，通過調(diào)節(jié)部可帶動螺紋調(diào)節(jié)桿旋轉(zhuǎn)，而螺紋調(diào)節(jié)桿可帶動陰極靶材移動，從而對陰極靶材與屏蔽套之間的相對位置進行調(diào)節(jié)，使陰極靶材的端面在消耗后能夠調(diào)整到消耗前的位置，保持陰極靶材產(chǎn)生等離子體的穩(wěn)定性保持經(jīng)過離子加速電路加速后的離子束流強度的穩(wěn)定性以及提高陰極靶材的有效利用率。??