一種離子源陰極結構及運用該陰極結構的離子束產(chǎn)生方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011358109.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112490099A | 公開(公告)日 | 2021-03-12 |
申請公布號 | CN112490099A | 申請公布日 | 2021-03-12 |
分類號 | H01J27/22(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 廖斌;龐盼;王國梁;羅軍;陳琳 | 申請(專利權)人 | 廣東省廣新離子束科技有限公司 |
代理機構 | 廣州圣理華知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人 | 董覺非;張凱 |
地址 | 510663廣東省廣州市黃埔區(qū)光譜東路179號百事高智慧園C棟101 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種離子源陰極結構及運用該陰極結構的離子束產(chǎn)生方法,涉及等離子源領域。該方案包括固定法蘭盤、屏蔽套以及陰極靶材,固定法蘭盤穿設有螺紋調(diào)節(jié)桿,螺紋調(diào)節(jié)桿的一端與陰極靶材連接并驅(qū)動陰極靶材沿螺紋調(diào)節(jié)桿的軸線方向移動,螺紋調(diào)節(jié)桿的另一端設置有調(diào)節(jié)部。提供一種離子源陰極結構以及離子束的產(chǎn)生方法,當陰極靶材發(fā)生一定的消耗后,通過調(diào)節(jié)部可帶動螺紋調(diào)節(jié)桿旋轉(zhuǎn),而螺紋調(diào)節(jié)桿可帶動陰極靶材移動,從而對陰極靶材與屏蔽套之間的相對位置進行調(diào)節(jié),使陰極靶材的端面在消耗后能夠調(diào)整到消耗前的位置,保持陰極靶材產(chǎn)生等離子體的穩(wěn)定性保持經(jīng)過離子加速電路加速后的離子束流強度的穩(wěn)定性以及提高陰極靶材的有效利用率。?? |
