一種四振鏡群孔加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110851313.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113579517A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113579517A 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) B23K26/382（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I;B23K26/082（2014.01）I;B23K26/60（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 秦應(yīng)雄;龍宙;許文強(qiáng);秦慶全;段光前;黃樹(shù)平;童杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇先河激光研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐俊偉
地址 223800江蘇省宿遷市宿城區(qū)激光產(chǎn)業(yè)園小型對(duì)外加工區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種四振鏡群孔加工方法；包括沿光路依次設(shè)置的振鏡組、聚焦鏡和加工平臺(tái)；振鏡組包括聯(lián)動(dòng)控制的X1振鏡、Y1振鏡、X2振鏡和Y2振鏡，X1振鏡偏轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)光束在聚焦鏡X方向的偏移，X2振鏡補(bǔ)償X1振鏡的偏轉(zhuǎn)角度后實(shí)現(xiàn)光束在X方向的角度偏移，Y1振鏡偏轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)光束在聚焦鏡Y方向的偏移，Y2振鏡補(bǔ)償Y1振鏡的偏轉(zhuǎn)角度后實(shí)現(xiàn)光束在Y方向的角度偏移，通過(guò)調(diào)節(jié)振鏡的擺放角度來(lái)調(diào)節(jié)孔的位置、錐度和孔徑，通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對(duì)聚焦鏡或加工平臺(tái)進(jìn)行升降來(lái)調(diào)節(jié)聚焦位置；整個(gè)裝置通過(guò)精準(zhǔn)控制光束焦點(diǎn)位置的同時(shí)在所有的群孔上重復(fù)作用以減少等離子體對(duì)于打孔的影響，同時(shí)加速打孔效率；使用該裝置進(jìn)而完成孔徑和錐度可調(diào)的異形微孔陣列。